中频电源HQ-MF04040-1P，是广泛应用在太阳能电池制造及真空镀膜过程中，等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）镀膜工艺上的特种电源。
输出为单通道，输出功率可达35kW，可以输出多种电压波形（如方波、阶梯波、双极性脉冲波），满足不同镀膜工艺要求。
• 节能环保：采用先进的软开关技术，最高效率可达93%，比传统电源高3%以上；
• 极低电弧能量：自主专利技术的电弧检测和灭弧方法，确保出色的镀膜均匀度和高良率；
• 匹配性强：多种不同电压波形可调，输出电压高达800V，可同时满足新型和传统的镀膜工艺要求；
• 电网谐波污染小：具备主动功率因素校正功能，输入功率因素满载高达0.99，电流谐波小于5%；
• 可扩展：FPGA+DSP+ARM全数字化控制平台，更智能更可靠，轻松匹配客户的定制化需求；
• 高集成，易维护：自主专利技术的水冷设计，标准化结构设计，噪音低，操作简单，维护便捷；
| 参数 | HQ-MF04030-1 | HQ-MF04040-1 | HQ-MF04040-2 | HQ-MF04060-2 | HQ-MF04030-1P | HQ-MF04040-1P | HQ-MF04040-2P |
| 输入电压 | 323Vac~475Vac，三相+地线 | ||||||
| 输入频率 | 45Hz~64Hz | ||||||
| 输出通道数量 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 1 | 2 |
| 每通道输出功率 | 30kW | 35kW | 20kW | 30kW | 30kW | 35kW | 20kW |
| 每通道最高输出电压 | 600V | 800V | |||||
| 每通道最大输出电流 | 85A | 87.5A | 55A | 85A | 85A | 87.5A | 55A |
| 输出频率 | 40kHz，可调 | ||||||
| 输出控制模式 | 恒功率、恒压、恒流 | ||||||
| 开关机控制方式 | 触摸屏、RS485、模拟接口、CAN、EtherCAT | ||||||
| 安装尺寸（W*H*D） | 482*178*700 mm | 482*267*700 mm | 482*178*700 mm | ||||
| 工作温度 | +5℃~+45℃ | ||||||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||||
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