中频电源HQ-MF04040-2P,是广泛应用在太阳能电池制造及真空镀膜过程中,等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)镀膜工艺上的特种电源。
输出为单通道,输出功率可达20kW,可以输出多种电压波形(如方波、阶梯波、双极性脉冲波),满足不同镀膜工艺要求。
• 节能环保:采用先进的软开关技术,最高效率可达93%,比传统电源高3%以上;
• 极低电弧能量:自主专利技术的电弧检测和灭弧方法,确保出色的镀膜均匀度和高良率;
• 匹配性强:多种不同电压波形可调,输出电压高达800V,可同时满足新型和传统的镀膜工艺要求;
• 电网谐波污染小:具备主动功率因素校正功能,输入功率因素满载高达0.99,电流谐波小于5%;
• 可扩展:FPGA+DSP+ARM全数字化控制平台,更智能更可靠,轻松匹配客户的定制化需求;
• 高集成,易维护:自主专利技术的水冷设计,标准化结构设计,噪音低,操作简单,维护便捷;